Wytworzenie oraz charakterystyka nanostruktur do kalibracji mikroskopów ze skanującą sondą
DOFINANSOWANO ZE ŚRODKÓW
BUDŻETU PAŃSTWA
METROLOGIA POLSKA II
Nazwa zadania:
Wytworzenie oraz charakterystyka nanostruktur do kalibracji mikroskopów ze skanującą sondą
Dofinansowanie:
Projekt: 998 250 zł
Całkowita wartość: 998 250 zł
Projekt realizowany w Konsorcjum. Partnerzy:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Mikroelektroniki i Fotoniki;
- Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej w Lublinie.
Opis zadania:
Celem proponowanego projektu jest wytworzenie nanostruktur, które mogą być wykorzystane w charakterze wzorców do kalibracji mikroskopów ze skanującą sondą (m.in. AFM oraz STM) oraz opracowanie procedur kalibracji tych mikroskopów z wykorzystaniem dostępnych wzorców (w tym naturalnych) oraz wytworzonych w projekcie nanostruktur. Projekt będzie realizowany w ramach porozumienia o współpracy pomiędzy Instytutem Fizyki UJK, Łukasiewicz IMIF oraz Instytutem Nauk Chemicznych UMCS.
Szczegółowe zadania, które będą realizowane w projekcie obejmują:
- wykonanie z wykorzystaniem mikroskopów AFM/STM pomiarów wzorców (w tym naturalnych), zawierających struktury o wielkościach nano i sub-nanometrowych, porównanie uzyskanych wyników z danymi teoretycznymi oraz ocenę przydatności poszczególnych wzorców do kalibracji mikroskopów,
- opracowanie nanostruktur na podłożu krzemowym w celu wykorzystania ich jako wzorce do kalibracji mikroskopów AFM/STM z niepewnością mniejszą niż 0,5 nm oraz optymalizacja technologii ich wytwarzania w celu osiągnięcia uzysku warunkującego zdolność do uruchomienia małoseryjnej produkcji,
- charakterystykę wytworzonych nanostruktur z wykorzystaniem mikroskopów AFM/STM i innych technik metrologicznych o czułościach w skali nanometrów w celu oceny ich budowy strukturalnej w kontekście uzyskania efektywnych wzorców kalibracyjnych,
- opracowanie procedur kalibracji mikroskopów AFM/STM z wykorzystaniem wybranych wzorców naturalnych i wytworzonych nanostruktur oraz przetestowanie procedur w praktyce.
